FabuBlox, società nata dall’ambiente di ricerca del Massachusetts Institute of Technology, ha presentato FabAgent, un assistente di intelligenza artificiale destinato all’ingegneria dei processi di fabbricazione dei semiconduttori. Il sistema supporta la definizione, l’analisi e la simulazione dei flussi produttivi prima della loro esecuzione fisica nelle camere bianche, utilizzando una rappresentazione strutturata delle operazioni, delle apparecchiature e dei vincoli di processo. La piattaforma nasce per affrontare la complessità delle sequenze di fabbricazione, nelle quali ogni operazione può modificare le condizioni dei materiali e influenzare i passaggi successivi. FabAgent opera quindi su informazioni tecniche relative alla struttura del dispositivo, alle ricette di lavorazione, alle caratteristiche delle macchine e alle limitazioni dell’impianto, permettendo agli ingegneri di valutare soluzioni alternative senza separare la progettazione teorica dalle effettive possibilità della struttura produttiva.
L’assistente è integrato nella Process Design Suite di FabuBlox, che comprende descrizioni standardizzate delle operazioni, visualizzazioni delle sezioni trasversali, simulazione degli stack di materiali, controllo delle versioni e repository condivisi. Gli ingegneri possono descrivere il processo desiderato, utilizzare FabAgent per costruire la sequenza delle lavorazioni e osservare l’evoluzione della struttura del dispositivo attraverso rappresentazioni grafiche. Il sistema permette inoltre di esaminare strumenti e ricette compatibili con le operazioni proposte, mantenendo la possibilità di rivedere e modificare manualmente i passaggi. La simulazione delle sezioni trasversali rende visibili gli effetti delle operazioni successive sui diversi strati, facilitando il riconoscimento anticipato di incompatibilità o problemi di integrazione che potrebbero emergere soltanto durante la fabbricazione fisica.
Un elemento fondamentale è l’integrazione con Facility OS, il sistema che organizza le informazioni sull’impianto produttivo. La base dati comprende capacità delle apparecchiature, materiali supportati, limitazioni operative, intervalli dei parametri, ricette, informazioni di calibrazione e restrizioni relative alla contaminazione. FabAgent può quindi valutare se un’operazione sia compatibile con le macchine disponibili, se i materiali siano ammessi e se le condizioni richieste rientrino nei limiti documentati. Le ricette rimangono associate agli strumenti e ai relativi dati di caratterizzazione, mentre le modifiche vengono tracciate per consentire la sincronizzazione con i flussi di processo. La piattaforma comprende anche strumenti per valutare richieste di fabbricazione e stimare i costi sulla base delle operazioni configurate e dei prezzi associati alle risorse dell’impianto.
FabuBlox sta sviluppando inoltre Fab Run Studio, attualmente descritto come una componente in fase beta iniziale, per collegare le versioni dei processi ai wafer fisici, alle registrazioni di esecuzione e alle misurazioni metrologiche. Il sistema prevede il tracciamento dei percorsi di fabbricazione, delle variazioni dei parametri, dei risultati sperimentali e delle mappe dei wafer, includendo strumenti di controllo statistico dei processi. La correlazione tra wafer, ricetta, apparecchiatura e misurazioni consentirà di utilizzare gli esiti sperimentali per proporre modifiche ai processi e nuovi cicli di verifica. Fondata nel 2023 da un gruppo comprendente Jan Tiepelt e Josh Perozek, insieme a Jack Muller ed Eyal Perry, FabuBlox ha sviluppato il proprio ambiente a partire dalle esigenze di condivisione della conoscenza tecnica incontrate nei laboratori MIT.nano e Microsystems Technology Laboratories, entrando successivamente nel programma START.nano.
Questo articolo è stato redatto con il supporto di strumenti di intelligenza artificiale (AI).